장비 상세보기

장비기본정보

기관명
한림대학교 나노융합스쿨
장비명
Vacuum System (Vacuum System)
모델명
GHP-800K
제작사(국가)
KODIVAC LTD.(대한민국)
제작년도
2015
용도
생산
분류
광학
취득일
2015.02.25
장비설명
-정밀가공 기술에 의한 저소음 저진동의 펌프입니다.
-오일 역류방지기구 내장으로 정지시에 오일역류를 방지하므로 Pump Vent Valve가 필요 없습니다.
-부품의 호환성이 있으며 위치결정형 평형핀의 체결,각 Stator 등의 접속은 전부 O-Ring Seal로 되어 있으므로 분해조립이 용이한 구조입니다.
-가스 밸러스트밸브를 갖추고 있으므로, 수증기 응축가스 등을 효과적으로 제거합니다.
- Oil Berth를 중간에 설치한 이중 Seal 구조로 되어 있으며, Oil Berth 양측면의 응력차를 극소화하여, Oil Seal 에서의 오일누설이 없습니다.
-직결구동이므로 벨트 마모에 의한 분진 발생이 없으므로 깨끗한 환경을 유지합니다.
-직결구동이므로, 종래에 비하여 소형 경량입니다.
장비구성

성능
Ultimate Pressure 10^(-2)Pa
Oil Capacity Max 4.3L, Min 3.0L
Weight : 60 kg
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
사용료유형
이용료
설치형태
설치장소
장비상태
담당자
연락처
팩스
사용방법
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
COPYRIGHT (C) 2020 BY CPRI QDCSC K Quantum. ALL RIGHTS RESERVED.

logo

cpri kquantum cpri kquantum

TOP